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光栅刻划机进给导轨直线度误差对光栅衍射波前及杂散光的影响
对光栅刻划机的进给导轨直线度误差做了系统的研究,推导了直线度误差对光栅衍射波面和杂散光的影响的计算公式,并且定义了干涉仪测量......
期刊
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